微电子器件中包括大量不同的微观元件与器件结构,在受到静电作用时发生器件失效的风险也各不相同。例如,IC中连接die pads与封装外部leads的焊线,静电放电产生的ESD电流幅值越大,则焊线因电致焦耳热作用的熔断失效风险就越高;而IC中的绝缘膜层,则是在其受到电场作用的强度越高时,膜层发生击穿失效的风险就会越高。
在各种微电子器件的生产制造阶段中,静电则主要通过以下几种形式对微电子器件构成不良失效(功能失效或工作可靠性下降):
一,静电主要来自于其他物体上,通过接触到微电子器件(尤其是电气管脚或引线)时,通过静电放电(ESD,Electro-Static Discharge)的过程,导致微电子器件内部特定结构损坏而失效。
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